双振镜激光扫描加工误差精细校订 precise correc

  第39卷第12期 激光与红外 V01.39.No.12

  LASERINFRARED

  2009年12月 & December.2009

  文章编号:1001.5078(2009)127l讲 ·激光技巧与应用·

  双振镜激光扫描加工误差精细校订

  郝俊明,邢 刚,李江明

  (华北光电技巧研究所,北京100015)

  摘 要:主要评论辩论了用传统的赔偿畸变的方法校订振镜二维扫描光学系统中图形畸变后,为进

  mm×10

  一步提高精度,应用图象处理技巧,停止二次闭环误差校订,使在10 mm的加工平面

  内,校订后的精度优于3斗m。

  关键词:激光加工;振镜扫描;加工误差;图象处理

  中图分类号:TN209 文献标识码:A

  Precisecorrectionfbr laser

  dual-galVanometric

  scanningmanuf.acturing

  HAO

  Jun—ming,XINGGang,UJiang—ming

  ChinaResearchlnstitute

  (North ofElectro-opticB,Beijing100015,China)

  tmditionaJ la眈r ermrsis forfhr-

  Ab吼ract:By吣ingmethod,dual-galvarmmet—c reduced,but

  scanningmanuf如turing

  ther new use is thesecond er.

  precisionimproVing,amethod,whichi眦geprocessing

  introduced.Throughclo∞d-100p

  mr isbetter theareaoflO姗×10mm f如e.

  revision,theprecision th锄3¨肌in working

  wonls:l粕er

  1【ey man■.acturing;galvanometricsc明ning;manu』.acturingerm糟;imagepmcessing

  l 引 言 以采取硬件校订¨1和软件校订L2。】。因为硬件校订

  激光加工行业中的振镜式光束扫描技巧是一种 成本高,关于校订的参数不能合时地调剂,而软件校

  具有遍及应用潜力的激光束调制手腕,具有调制速 正直济,还可以灵敏调剂参数,所以平日采取的校订

  度快(高达8kHz)、精度高(可达0.06斗rad)及易于方法均为软件赔偿校订,具体可以分为增量补

  控制等特色,所以在激光精细加工行业应用很广。 偿【4J、校订表∞J、最小二乘拟合M1等几种方法。这

  但因为二维振镜在光路中前后安插的结构等特色, 几种方法校订道理迥然分歧,具体选择那种看编程

  不成防止地会引入误差。关于系统引人的误差,同

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